晶瑞电材：ArF光刻机及其附属设备已基本完成调试，并且开始履行研发功能-重点聚焦
2023-05-17 16:29:31 来源：同花顺iNews
(资料图片)
同花顺（300033）金融研究中心5月17日讯，有投资者向晶瑞电材（300655）提问， 请问，在ArF光刻胶研发方面，缺陷检测设备的安装调试是否顺利？
公司回答表示，ArF光刻机及其附属设备已基本完成调试，并且开始履行研发功能，谢谢。
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